一般情況下，我們使用涂層測(cè)厚儀，如果發(fā)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)有誤差以后，一般進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)即可，這是我們常用的一種校準(zhǔn)方式，即使用隨測(cè)厚儀提供的校零板對(duì)儀器進(jìn)行校零。

　　但是當(dāng)您碰到測(cè)量頭頂端被磨損、新?lián)Q的測(cè)量頭，或者其他的用途。在測(cè)量中，如果誤差明顯地超出給定范圍，則應(yīng)對(duì)測(cè)量頭的特性重新進(jìn)行校準(zhǔn)稱為基本校準(zhǔn)。通過輸入 6 個(gè)校準(zhǔn)值(1 個(gè)零和 5 個(gè)厚度值，測(cè)厚儀一般提供有5個(gè)不同厚度值的標(biāo)準(zhǔn)膜片)，可重新校準(zhǔn)測(cè)量頭，具體涂層測(cè)厚儀六點(diǎn)校準(zhǔn)方法操作方法如下：

　　1.在儀器開啟的狀態(tài)下，按順序連續(xù)、快速按下以下按鈕，即可進(jìn)入六點(diǎn)修正校準(zhǔn);

　　2.先校零值。在六點(diǎn)修正校準(zhǔn)界面的*個(gè)界面，測(cè)一下沒有任何涂層的基體，然后按 ZERO 鍵，屏幕中的 ADJ 顯示 0.0?m，按 進(jìn)入下一點(diǎn)的校準(zhǔn);

　　3.校準(zhǔn)儀器自帶校準(zhǔn)片，把 50?m 的放到基體上，測(cè)一下 50?m 的厚度，測(cè)出來的(ADJ)數(shù)與校準(zhǔn)片的值不符按é ê調(diào)整到與校準(zhǔn)片的值一樣(如50?m 測(cè)出來是 54?m 按ê調(diào)整到 50?m)， 然后按 進(jìn)入下一點(diǎn)校準(zhǔn),接著用相同的校準(zhǔn)方法依次校準(zhǔn) 100μm、250μm、500μm、1000μm 校準(zhǔn)膜片;

　　4.6點(diǎn)數(shù)據(jù)調(diào)整完之后，會(huì)出現(xiàn)對(duì)話框詢問是否保存，按 確認(rèn)保存;

　　5.若使用其他膜片標(biāo)準(zhǔn)，須按厚度增加的順序，一個(gè)厚度上可做多次。每個(gè)厚度應(yīng)*少是上一個(gè)厚度的 1.6 倍以上，理想情況是 2 倍。例如: 50、100、250、500、1000μm。大值應(yīng)該接近但低于測(cè)量頭的*大測(cè)量范圍;

　　注意: 每個(gè)厚度應(yīng)少是上一個(gè)厚度的 1.6 倍以上，否則視為基本校準(zhǔn)失敗，后面一個(gè)點(diǎn)必須大于 500μm